壓電剪切片能提供橫向的位移,將多個(gè)剪切片用環(huán)氧樹脂和銅箔粘接成疊堆,能夠提供更大的橫向位移。
通過對剪切疊堆和Z軸運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷進(jìn)行疊加,可形成XY/XZ/YZ/XYZ等多軸移動(dòng)的疊堆。